EH4200愛德華羅茨泵維修

 EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。

應用

半導體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光

產品優(yōu)勢

提高轉速，增大系統(tǒng)氣載處理能力

增加抽速，縮短系統(tǒng)抽空時間

變頻器參數(shù)經專業(yè)調校，大限度提升泵運行的可靠性

如發(fā)生冷卻水故障，變頻器會處理溫度探頭的信號，保護泵的運行

電機按需出功，更節(jié)能

泵待機模式時，可通過降頻實現(xiàn)節(jié)能

能靈活地使用特殊工藝控制的要求

數(shù)字量和模擬量接口的電路集成簡單方便，通訊模塊可選

油霧過濾器
當油回轉真空泵在大氣壓下啟動或粗真空下運轉時，真空泵油會與被抽進去的氣體一起排出。這種廢氣由許多微小的油滴組成，以煙霧的形式從泵的排氣口排出。 油霧過濾器可以確保一個清潔的環(huán)境，保護室內設備免受油霧污染。

特點
•  過濾油霧。
•  減少噪音。
•  內部濾芯更換方便。
•  油回收方法可選（選購件），與泵連接方便。

EH4200愛德華羅茨泵維修